特許
J-GLOBAL ID：200903071610554164

電子線装置用データ処理装置、電子線装置のステレオ測定方法

発明者：
高地 伸夫

高地 伸夫 について

, 
小池 紘民

小池 紘民 について


出願人/特許権者：
株式会社トプコン

株式会社トプコン について


代理人 (1件)： 宮川 貞二 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-062687
公開番号（公開出願番号）：特開2002-270127
出願日： 2001年03月06日
公開日（公表日）： 2002年09月20日
要約：
【要約】【課題】 電子顕微鏡から得られたステレオの検出データを適切に処理して、試料像を正確に精度よく立体観察可能として、試料の三次元形状計測を行うことができる電子線装置用データ処理装置を提供する。【解決手段】 電子線装置10に接続されるデータ処理装置20であって、電子線装置10での測定条件を受け取る測定条件判別部25と、試料ホルダ3と照射電子線7とを相対的に傾斜させた際の、電子線検出部4で検出した複数傾斜角度での検出データを受取り、測定条件判別部25で判別する測定条件に基づいて、試料9の形態を立体的に測定する形状測定部32とを備えている。ここで、電子線装置10は、電子線源1から放射された電子線7を電子光学系2によって試料9に照射し、試料9を保持する試料ホルダ3と照射電子線7とを相対的に傾斜させ、電子線検出部4にて試料9から出射される電子線7dを検出する。
請求項（抜粋）：
電子線を放射する電子線源、前記電子線を試料に照射する電子光学系、前記試料を保持する試料ホルダ、前記試料ホルダと前記照射電子線とを相対的に傾斜させる試料傾斜部、前記試料から出射される電子線を検出する電子線検出部とを有する電子線装置と接続される電子線装置用データ処理装置であって;前記電子線装置での測定条件を受け取る測定条件判別部と;前記試料傾斜部により前記試料ホルダと前記照射電子線とを相対的に傾斜させた際の、前記電子線検出部で検出した複数傾斜角度での検出データを受取り、前記測定条件判別部で判別する測定条件に基づいて、前記試料の形態を立体的に測定する形状測定部と;を備える電子線装置用データ処理装置。
IPC (9件)：
H01J 37/28 ,  G01B 15/00 ,  G01B 15/04 ,  G01N 23/04 ,  G01N 23/225 ,  G21K 5/00 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/22 502
FI (9件)：
H01J 37/28 B ,  G01B 15/00 B ,  G01B 15/04 ,  G01N 23/04 ,  G01N 23/225 ,  G21K 5/00 A ,  G21K 5/04 M ,  H01J 37/20 D ,  H01J 37/22 502 H
Fターム (27件)：
2F067AA53 ,  2F067HH06 ,  2F067HH13 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067LL16 ,  2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001BA11 ,  2G001CA03 ,  2G001DA01 ,  2G001DA09 ,  2G001FA06 ,  2G001FA08 ,  2G001GA06 ,  2G001GA09 ,  2G001GA13 ,  2G001HA13 ,  2G001JA07 ,  2G001JA11 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001PA15 ,  5C001AA05 ,  5C001CC04 ,  5C033UU04 ,  5C033UU05
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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