特許
J-GLOBAL ID：200903071614261943

レーザ装置

発明者：
高橋 知隆

高橋 知隆 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (1件)： 伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-210761
公開番号（公開出願番号）：特開2003-029308
出願日： 2001年07月11日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：
【要約】【課題】 発振周波数を迅速、正確かつ安定的に可変させるとともに、発振周波数を安定化させる。【解決手段】 周波数安定化レーザ1からのレーザ光L1(周波数fo)は、音響光学周波数シフタ11で周波数シフトされるとともに所定の回折角で回折される。コリメートレンズ12は、回折角の大きさによらずレーザ光を光軸Oに平行にする。コリメートレンズ14で集光されたレーザ光は音響光学周波数シフタ15に入射して、もとの入射光の光路と略一致させられる。
請求項（抜粋）：
所定の波長のレーザ光を射出する周波数安定化レーザ光源と、超音波振動により生ずるドップラシフトを利用して前記レーザ光の周波数をシフトさせる第一の音響光学周波数シフタと、前記音響光学周波数シフタに後側焦点が位置するように配置された第一のコリメート光学系と、この第一のコリメート光学系を通過した光束を集光させる第二のコリメート光学系と、超音波振動により生ずるドップラシフトを利用して前記第二のコリメート光学系から射出されたレーザ光の周波数をシフトさせる第二の音響光学周波数シフタと、超音波を発生させるための駆動信号を前記第一及び第二の音響光学周波数シフタに入力させるとともにこの駆動信号の周波数を可変とした発振器とを備え、前記第二の音響光学周波数シフタは、前記第二のコリメート光学系の前側焦点位置に配置されるとともに、前記第二のコリメート光学系からの入射光がその光軸となす角を2θとした場合、回折角がθとなるように設定されていることを特徴とするレーザ装置。
IPC (3件)：
G02F 2/02 ,  G02F 1/11 505 ,  H01S 3/1055
FI (3件)：
G02F 2/02 ,  G02F 1/11 505 ,  H01S 3/1055
Fターム (20件)：
2H079AA04 ,  2H079BA04 ,  2H079BA05 ,  2H079CA24 ,  2H079EB22 ,  2H079KA01 ,  2H079KA18 ,  2K002AB12 ,  2K002BA12 ,  2K002DA01 ,  2K002HA10 ,  5F072AA01 ,  5F072GG02 ,  5F072HH05 ,  5F072JJ20 ,  5F072KK15 ,  5F072MM03 ,  5F072MM12 ,  5F072MM18 ,  5F072MM19
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (9件)
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