特許
J-GLOBAL ID:200903071615919888
コレットチャック装置及びコレットチャック装置を用 いた貼り合わせディスクの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-339288
公開番号(公開出願番号):特開平11-162057
出願日: 1997年11月25日
公開日(公表日): 1999年06月18日
要約:
【要約】【課題】 2枚のディスクを芯出しした状態で確実にチャッキングする。【解決手段】 弾性部材を用いた円筒状爪部4bの中心に中心孔4cを形成し、且つ、円筒状爪部4bの円周を軸方向に6か所の縦長なスリット部4b1により6分割して、下層のディスクD2をチャッキングするために軸方向に長い3つの長い爪部4b2と、上層のディスクD1をチャッキングするために軸方向に短い3つの短い爪部4b3とをスリット部一つおきに弾性変位可能に形成したチャック爪4をシリンダ2に同軸的に取り付けて、第1ピストン8の先端部が3つの長い爪部4b2と係合して、下層のディスクD2の中心孔に挿入した3つの長い爪部4b2を径方向に開くと共に、第2ピストン9の先端部が3つの短い爪部爪部4b3と係合して、下層のディスクD2の中心孔に挿入した3つの長い爪部4b2を径方向に開いて、2枚のディスクD1,D2を芯出してチャッキングする。
請求項(抜粋):
2枚のディスク又は平板状加工物に夫々形成した中心孔の孔寸法に多少のバラッキが生じていても、2枚の前記ディスク又は前記平板状加工物を重ねてチャッキングするコレットチャック装置であって、弾性部材を用いた円筒状爪部の中心に中心孔を形成し、且つ、前記円筒状爪部の円周を軸方向に6か所の縦長なスリット部により6分割して、下層の前記ディスク又は前記平板状加工物をチャッキングするために軸方向に長い3つの長い爪部と、上層の前記ディスク又は前記平板状加工物をチャッキングするために軸方向に短い3つの短い爪部とを前記スリット部一つおきに弾性変位可能に形成したチャック爪と、前記チャック爪を同軸的に取り付け、且つ、圧縮空気又はオイルが入出する入出口を形成してチャンバー内を密閉したシリンダと、前記シリンダのチャンバーの内周と、前記チャック爪の中心孔とに沿いながら前記圧縮空気又は前記オイルにより軸方向に移動自在に設けられ、一つ方向の移動時に先端部が前記3つの短い爪部と係合して、上層の前記ディスク又は前記平板状加工物の中心孔に挿入した該3つの短い爪部を径方向に開く一方、一つ方向と反対方向への移動時に該3つの短い爪部を閉じる第1ピストンと、前記第1ピストンの中心に形成した中心孔に沿いながら前記圧縮空気又は前記オイルにより軸方向に移動自在に設けられ、一つ方向の移動時に先端部が前記3つの長い爪部と係合して、下層の前記ディスク又は前記平板状加工物の中心孔に挿入した該3つの長い爪部を径方向に開く一方、一つ方向と反対方向への移動時に該3つの長い爪部を閉じる第2ピストンとを備えたことを特徴とするコレットチャック装置。
IPC (3件):
G11B 17/028
, B25H 7/00
, G11B 7/26 531
FI (3件):
G11B 17/028 Z
, B25H 7/00 B
, G11B 7/26 531
引用特許: