特許
J-GLOBAL ID：200903071618240282
マイクロゴーレイセル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-338601
公開番号（公開出願番号）：特開平8-184501
出願日： 1994年12月30日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：
【要約】【目的】 複雑な調整を必要とせず、また、機械的に非常に安定で高感度に赤外光を検出できる超小型のマイクロゴーレイセルを提供すること。【構成】 一側に赤外光受光部4が形成され、他側に可動膜2が設けられ、内部にガスを収容したマイクロゴーレイセルにおいて、前記可動膜2の外面にミラー5を設け、このミラー5を含むミクロンサイズのキャビティ7を可動膜2に臨むようにして形成し、このキャビティ7内に、干渉計に接続された光ファイバ8を、その端面8aがミラー5と対向するようにして挿入配置したことを特徴としている。
請求項（抜粋）：
一側に赤外光受光部が形成され、他側に可動膜が設けられ、内部にガスを収容したマイクロゴーレイセルにおいて、前記可動膜の外面にミラーを設け、このミラーを含むミクロンサイズのキャビティを可動膜に臨むようにして形成し、このキャビティ内に、干渉計に接続された光ファイバを、その端面がミラーと対向するようにして挿入配置したことを特徴とするマイクロゴーレイセル。
IPC (3件)：
G01J 5/42
, G01J 1/02
, G01J 5/08
