特許

J-GLOBAL ID：200903071625844800

クリーンスペースユニットとクリーンエア吹き出しユニット

発明者： 濱 辰男
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-275535
公開番号（公開出願番号）：特開2003-083579
出願日： 2001年09月11日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：

【要約】【解決手段】 密閉箱3は、吸気孔1と排気孔2とを有する。プレフィルタ4は密閉箱3内部の吸気孔側に配置され、吸気された外気を所定のレベルまで浄化する。ファンフィルタユニット5は、プレフィルタが浄化した外気を高清浄度作業に要求される清浄度まで浄化して上記排気孔2からクリーンエアを吹き出す。カバー7は、密閉箱3とフレーム6とで形成される空間を外気から遮断して、高清浄度作業空間を形成する。【効果】 分解容易かつ移動設置可能なクリーンスペースユニットになる。

請求項（抜粋）：

吸気孔と排気孔とを有する密閉箱と、前記密閉箱内部の吸気孔側に配置され、吸気される外気を所定のレベルまで浄化するプレフィルタと、前記密閉箱内部の排気孔側に配置され、前記プレフィルタが浄化した外気を高清浄度作業に要求される清浄度まで浄化して前記排気孔からクリーンエアを吹き出すファンフィルタユニットと、前記密閉箱を所定位置に支持する支持機構と、前記密閉箱のクリーンエア吹き出し口近傍を含む所定の空間を外気から遮断して高清浄度作業空間を形成するカバーとを備えたことを特徴とするクリーンスペースユニット。

IPC (3件)：

F24F 7/06 ,  F24F 7/007 ,  H01L 21/02

FI (3件)：

F24F 7/06 C ,  F24F 7/007 B ,  H01L 21/02 D

Fターム (10件)：

3L056BD01 ,  3L056BD03 ,  3L056BE05 ,  3L056BF04 ,  3L056BF06 ,  3L058BD00 ,  3L058BE02 ,  3L058BF01 ,  3L058BF04 ,  3L058BG03

引用特許：

審査官引用 (1件)

• クリーン作業装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-261054   出願人：新明和工業株式会社