特許

J-GLOBAL ID：200903071627111592

光学装置およびその製造方法

発明者： アラン・ジェイムス・ヤコブス-クック ,  ペーター・エドワード・マイケル・フレーレ ,  マーク・エドワード・クリストファー・ボウエン
出願人/特許権者： ルーカス・インダストリーズ・パブリック・リミテッド・カンパニー
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-046021
公開番号（公開出願番号）：特開平6-018740
出願日： 1993年02月12日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：

【要約】【目的】 光学要素の種々の構成要素の配列を好都合なものとし、信頼し得る光学装置を提供することにある。【構成】 {110}結晶平面内に一直線に整列された本体光(2)を有するように方向付けられた単結晶シリコン(1)のブロツクが光導波路(8,24)を受容するための溝(4)および該溝(49に向かい合っている反射面(7)を画成するように選択的にエツチングされる。溝(4)は<100>結晶平面内にある。かくして溝は本体表面(2)に対して平行でありかつ反射面(7)が本体表面に対して45°である。

請求項（抜粋）：

単結晶シリコンからなる本体(1)、光導波路を収容するための本体表面(2)に形成された溝(4)および該溝(4)の端部分に向かい合っている光反射器(7)からなる光学装置において、前記本体表面(2)が{110}結晶学的平面内に一直線に整列され、前記光学反射器(7)が{100}結晶学的平面内に光反射面(7)を有し、そして前記溝(4)の端部分の長手方向軸線が実質上<100>結晶軸に沿っていることを特徴とする光学装置。