特許

J-GLOBAL ID：200903071628174830

光学的差圧計測手法および光学的差圧センサー

発明者： 永井 大樹 ,  浅井 圭介
出願人/特許権者： 国立大学法人東北大学
代理人 (2件)： 須田 篤 ,  楠 修二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-191118
公開番号（公開出願番号）：特開2009-025240
出願日： 2007年07月23日
公開日（公表日）： 2009年02月05日
要約：

【課題】本発明は、微小な圧力変化に対し大きな感度を有し、物体表面の微小な圧力変化を高い精度で計測することのできる、光学的差圧計測手法および光学的差圧センサーを提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、微小流路を有する多孔質隔壁1と酸素消光性色素を付着させた酸素感応面2とで構成され、多孔質隔壁1を隔てて生じた差圧に応じて、多孔質隔壁1内の微細流路を通じて酸素濃度の異なる気体が流れ出し、酸素感応面2上に大きな酸素濃度変化を生じさせることを利用して、酸素消光性色素の発光強度または発光寿命の変化が従来より大きい、非常に高感度な光学的差圧計測を実現するものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

酸素消光性色素からなる酸素感応面を有する多孔質隔壁が隔てる気体Aと、前記気体Aより酸素濃度が低い気体Bとの間の圧力差に応じて、前記気体Aまたは前記気体Bが前記多孔質隔壁を通じて移動することにより、前記酸素感応面の発光強度または発光寿命が変化することを利用して、その変化に基づいて前記圧力差を計測することを特徴とする光学的差圧計測手法。

IPC (1件)：

G01L 13/00

FI (1件)：

G01L13/00 Z

Fターム (8件)：

2F055AA40 ,  2F055BB05 ,  2F055CC34 ,  2F055DD09 ,  2F055DD11 ,  2F055EE39 ,  2F055FF11 ,  2F055GG12

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特許第3380894号公報
  
• 特許第3896488号公報