特許

J-GLOBAL ID：200903071633347174

マイクロ波放電光源装置

発明者： 田嶋 直樹
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-296597
公開番号（公開出願番号）：特開平8-161911
出願日： 1994年11月30日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】本発明は、多くの発光ラインを選択可能とすることを目的とする。【構成】マイクロ波発振器1からのマイクロ波をマイクロ波共振器本体7内部に放射し、円環状導体8の摺動によりマイクロ波共振を生じさせてマイクロ波共振器本体7と円環状導体8との間に電界を加え、絶縁体容器9の放電部10において励起ガス媒質を放電し、このときに発生する励起ガス媒質の組成に応じた波長の光を外部に放出する。

請求項（抜粋）：

マイクロ波発振器と、このマイクロ波発振器から導かれたマイクロ波が内部に放射される同軸状の中心導体及び外部導体から成るマイクロ波共振器本体と、このマイクロ波共振器本体の軸方向でかつ前記中心導体と前記外部導体との間に摺動自在に設けられた円環状導体と、前記円環状導体の一端と対向する前記マイクロ波共振器本体の一端面側に設けられた放電部の形成された絶縁体容器と、前記放電部に封入された励起ガス媒質と、を有することを特徴とするマイクロ波放電光源装置。