特許
J-GLOBAL ID：200903071638967421
窒化アルミニウム基板の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-183295
公開番号（公開出願番号）：特開平5-009076
出願日： 1991年06月27日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：
【要約】【目的】 焼成容器を用いることなく焼成時の雰囲気の制御を可能にし、窒化アルミニウム基板の反りやクラック等の欠点の発生を防止する。【構成】 窒化アルミニウム製のグリーンシート1及び額縁材2を脱バインダ処理し、さらに、額縁材2を仮焼する。この後、グリーンシート1を額縁材2の内側に配置し、さらに、各グリーンシート1及び額縁材2を窒化硼素製のセッター4で1組づつ挟んだ状態で重ね、焼成する。
請求項（抜粋）：
焼結助剤を含む窒化アルミニウムグリーンシートを焼成する工程において、少なくとも1枚の窒化アルミニウムグリーンシートを上下から窒化硼素製のセッターで挟み、さらに当該グリーンシートの外周に未焼結の窒化アルミニウム製額縁材を配置した状態で、当該グリーンシートを焼成することを特徴とする窒化アルミニウム基板の製造方法。
IPC (2件)：
C04B 35/58 104
, C04B 35/64
