特許
J-GLOBAL ID:200903071646613167

プリント基板の配線の欠陥検出方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高崎 芳紘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-074272
公開番号(公開出願番号):特開平11-271232
出願日: 1998年03月23日
公開日(公表日): 1999年10月05日
要約:
【要約】【課題】 画像パターンの欠陥を、良品テンプレートや設計データとの比較をすることなく検出したい。【解決手段】 本発明では、配線パターン画像が固有に持つパターンの方向性の分布から欠陥候補パターンを抽出し、さらに前記欠陥候補パターンに対して特徴解析を行なって欠陥判定することにより、良品限度である型ずれや、対象物の規格変更にも適宜対応する欠陥検出手段を提供する。【効果】 良品限度である型ずれや、対象物の規格変更にも適宜対応でき、さらに位置併せの許容範囲が広いため簡易なシステム構築が可能になる。
請求項(抜粋):
プリント基板から得られる欠陥検出対象画像に対して、パターンの方向が規則的であることを利用して、方向性が不規則である領域を欠陥候補パターンとして抽出し、欠陥判定を行うことを特徴とするプリント基板の配線の欠陥検出方法。
IPC (2件):
G01N 21/88 ,  H05K 3/00
FI (2件):
G01N 21/88 F ,  H05K 3/00 V

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