特許
J-GLOBAL ID：200903071651849896
固体撮像素子およびその固体撮像素子を搭載した撮影装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-146605
公開番号（公開出願番号）：特開平5-315579
出願日： 1992年05月11日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、固体撮像素子の集光特性を高めることにより、固体撮像素子の感度の向上を図る。【構成】 基板11に形成した複数の光センサ部12上に透光性の下層絶縁膜13と透光性の上層絶縁膜16とを介して集光レンズ17を設けた固体撮像素子10であって、透光性の下層,上層絶縁膜13,16間にアクチュエータ14を光センサ部12に照射される入射光の光路を遮らない状態に設けたものである。あるいは集光レンズ17と光センサ部12との間に透光性の膜厚可変層(図示せず)を設けたものである。または各光センサ部12上に電気光学効果を有する膜(図示せず)を形成したものである。
請求項（抜粋）：
基板に形成した複数の光センサ部上のそれぞれに、透光性の下層絶縁膜と透光性の上層絶縁膜とを介して集光レンズを設けたオンチップレンズ構造の固体撮像素子であって、前記透光性の下層絶縁膜と前記透光性の上層絶縁膜との間に、アクチュエータを前記光センサ部に照射される入射光の光路を遮らない状態に設けたとを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2件)：
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