特許
J-GLOBAL ID：200903071657122955
液体噴射記録ヘツドの製造方法および液体噴射記録ヘツド
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-294504
公開番号（公開出願番号）：特開平5-131636
出願日： 1991年11月11日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：
【要約】【目的】吐出エネルギー発生素子と吐出口との高精度の位置関係が得られ、かつ機械的強度にも優れた液体噴射記録ヘッドの製造方法を提供する。【構成】予め吐出エネルギー発生素子2が設けられた基板1の表面に、インク流路7に対応するパターンを樹脂層8によって形成する(A)。基板1の樹脂層8で被覆されていない部分のみに、化学的気相成長法(CVD法)などによって選択的に金属層3を設ける(B)。さらに樹脂層8および金属層3の上に構造体膜4を形成する(C)。構造体膜4に吐出口6を開口し(D)、基板1あるいは構造体膜4にインク供給口5を開口して(E)、そののち樹脂層8を溶解除去してインク流路7を開通させ、液体噴射記録ヘッドを完成させる。
請求項（抜粋）：
吐出口に連通するインク流路と、該インク流路に対応して配置されインクを前記吐出口から吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子とを有する液体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記エネルギー発生素子が設けられた基板上に、前記インク流路が形成されるべき位置に対応させて溶解除去可能なパターンを形成する工程と、前記基板の表面であって前記パターンで被覆されていない部分のみに、金属層を堆積する工程と、前記パターンおよび前記金属層の上面に、構造体膜を形成する工程と、前記パターンを除去する工程とを有することを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 B
