特許
J-GLOBAL ID：200903071660550178
カラーフィルタ基板製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-107102
公開番号（公開出願番号）：特開平6-317774
出願日： 1993年05月10日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：
【要約】【目的】 本発明はカラーフィルタ基板の製造方法に関し、カラーフィルタとなる感光性着色樹脂の膜厚分布、パターン精度が良好で、且つ工程削減、低コスト化を図ることを目的とする。【構成】 複数の溝部2が形成されてなる透明凹版1の溝部2に複数色の感光性着色樹脂3をそれぞれの感光性着色樹脂の露光エネルギに対応した光学部材フィルタを用いて順次充填し、表面に透明接着剤4を有する透明基板5上に、複数色の感光性着色樹脂3を一括して同時に直接転写してカラーフィルタ基板6を形成するように構成する。
請求項（抜粋）：
複数の溝部(2) が形成されてなる透明凹版(1) の該溝部(2)毎に複数色の感光性着色樹脂(3) の内の特定色の感光性着色樹脂(3x)を充填し、表面に透明接着剤(4) を有する透明基板(5) 上に、該透明凹版(1) に充填した複数色の該感光性着色樹脂(3) を直接転写してカラーフィルタ基板(6) を形成するカラーフィルタ基板製造方法であって、複数色の該感光性着色樹脂(3) の各色を順序良く繰り返して充填するための溝部(2) を、複数色の該感光性着色樹脂(3) の感光波長が全て透過する透明凹版(1) に形成する工程と、該溝部(2) 毎に、該溝部(2) に充填すべき色の該感光性着色樹脂(3) のみを選択的に感光させる露光フィルタ(7) を設ける工程と、続いて、該第1の感光性着色樹脂(3a)を該透明凹版(1) の全ての溝部(2) に充填し、該透明基板(1) の裏面から該第1の感光性着色樹脂(3a)を露光して、該第1の感光性樹脂(3a)を充填する溝部(2a)内の該第1の感光性着色樹脂(3a)のみを感光する工程と、該第1の感光性着色樹脂(3a)を現像して、該第2の感光性着色樹脂(2b)を充填する溝部(2b)内と、該第3の感光性着色樹脂(3c)を充填する溝部(2c)内の該第1の感光性着色樹脂(3a)を除去する工程と、次に、該第2の感光性着色樹脂(3b)を該透明凹版(1) の該第1の感光性着色樹脂(3a)が未充填の溝部(2b、2c) に充填し、該透明基板(1) の裏面から該第2の感光性着色樹脂(3b)を露光して、該第2の感光性樹脂(3b)を充填する溝部(2b)内の該第2の感光性着色樹脂(3b)のみを感光する工程と、該第2の感光性着色樹脂(3b)を現像して、該第3の感光性着色樹脂(3c)を充填する溝部(2c)内の該第2の感光性着色樹脂 (3b) を除去する工程と、更に、該第3の感光性着色樹脂(3a)を該透明凹版(1) の該第2の感光性着色樹脂(3b)が未充填の溝部(2c)に充填し、該透明基板(1) の裏面から該第3の感光性着色樹脂(3c)を露光して、該第3の感光性着色樹脂(3a)を感光する工程と、表面に透明接着剤(4) を有する透明基板(5) 上に、該透明凹版(1) の該溝部(2) 内に充填した複数色の該感光性着色樹脂(3) を一括して同時に直接転写する工程とを含むことを特徴とするカラーフィルタ基板製造方法。
IPC (2件)：
G02F 1/13 101
, G02F 1/1335 505
