特許
J-GLOBAL ID：200903071662515442
液滴吐出ヘッド及びその製造方法、インクカートリッジ並びにインクジェット記録装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲元 富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-269888
公開番号（公開出願番号）：特開2003-072088
出願日： 2001年09月06日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】シリコン基板を各チップにダイシングによって分離する方法では、切子がチップに付着したり破損したりする問題がある。そこでエッチング方法があるが、ウエハからのチップ分離の強度が十分でなく、ウエハの面方位が限定されるなど、取り扱い性、製造歩留まりが悪い。【解決手段】液滴吐出ヘッドの製造は、シリコンウェハを異方性エッチングして複数の構造体を形成するとともに、複数の構造体の間に異方性エッチングで微小な多角形のパターンを並べたチップ分離線を入れて、このチップ分離線から個々の構造体に分離する構成とした。ここでウエハ30のチップ31、31間に小さな平行四辺形のパターン32bを並べて形成し、溝32bと各溝32b間の不連続部分33bでチップ分離線34bを構成した。
請求項（抜粋）：
シリコンから形成した構造体を備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記構造体は、シリコンウェハ内に形成した複数の構造体の間に異方性エッチングで入れられた微小な多角形のパターンで分離されたものであることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
Fターム (13件)：
2C057AF93
, 2C057AG07
, 2C057AG12
, 2C057AG81
, 2C057AP02
, 2C057AP25
, 2C057AP26
, 2C057AP34
, 2C057AP61
, 2C057AQ01
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
