特許

J-GLOBAL ID：200903071662981524

無機汚染除去方法

発明者： モンテ エイ.ダグラス ,  アレン シー.テンプルトン
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-208037
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135170
出願日： 1997年08月01日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】 基板を覆う層から無機汚染物質を除去する方法を提供する。【解決手段】 本方法は:基板100を覆う層102を少なくとも1つの除去剤で以て除去して、無機汚染物質104を露出させる工程;無機汚染物質104を少なくとも1つの変換剤と反応させて、それによって無機汚染物質104を変換して、後で用いられる溶剤中で未変換の場合よりもより容易に溶解する無機汚染物質106とする工程;前記変換された無機汚染物質106を、第1の超臨界流体中に含まれる少なくとも1つの溶剤にさらすことによってそれを除去する工程、を含む。

請求項（抜粋）：

基板を覆う層から無機汚染物質を除去する方法であって、前記基板を覆う前記層を少なくとも1つの除去剤で以て除去する工程、前記無機汚染物質を少なくとも1つの変換剤と反応させることによって前記無機汚染物質を変換する工程、前記変換された無機汚染物質を、第1の超臨界流体中に含まれた少なくとも1つの溶剤にさらすことによってそれを除去する工程、を含み、ここにおいて、前記変換された無機汚染物質が前記無機汚染物質よりも前記溶剤中でより高い溶解性を示す、ことを特徴とする方法。

IPC (2件)：

H01L 21/304 341 ,  B08B 7/00

FI (2件)：

H01L 21/304 341 M ,  B08B 7/00