特許

J-GLOBAL ID：200903071666921623

真空ポンプ

発明者： 久保 雅英
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-051883
公開番号（公開出願番号）：特開平11-247790
出願日： 1998年03月04日
公開日（公表日）： 1999年09月14日
要約：

【要約】【課題】 異物の侵入を阻止する保護ネットを取り付けても排気速度の低下しない真空ポンプを提供する。【解決手段】 ケーシング2に内設した回転体、すなわちたとえばターボ機構5Y、6の回転作動によってケーシング2の吸気口2Pから排気口1Pへの排気を行う真空ポンプPに設けられる吸気口2Pからの異物がターボ機構に侵入するのを阻止する保護ネット15を、吸気口2Pのターボ機構側端部位におけるスペーサ71とケーシング2との間に挟持させる。これにより、吸気口2Pは保護ネットを取り付けるためのフランジを内方に突設する必要がなくなり吸気口2Pの径は最大となり排気速度の低下は解消される。

請求項（抜粋）：

ケーシングに内設された回転体の回転作動によって気体の排気機能が行われ前記ケーシングの吸気口からの気体を排気口に排出する真空ポンプにおいて、ケーシングにおける吸気口の回転体側端部位に、吸気口からの異物が回転体側に侵入するのを阻止する保護ネットを配置したことを特徴とする真空ポンプ。