特許
J-GLOBAL ID：200903071670045846
ワイヤソーのグルーブローラ駆動方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-270152
公開番号（公開出願番号）：特開2000-094299
出願日： 1998年09月24日
公開日（公表日）： 2000年04月04日
要約：
【要約】【課題】ワイヤソーの切断加工部におけるワイヤの張力を安定させ、被加工物の切断面のうねりや粗さを少なくするようにしたワイヤソーのグルーブローラ駆動方法及びその装置を提供する。【解決手段】グルーブローラ21のモータ31に流れている電流値を検出し、前記電流値と予め設定されている定数値を加算及び乗算し、この演算結果に従って出力を第2モータ制御装置133にモータ電流指令値として出力する。これにより、グルーブローラ21とグルーブローラ22の回転力の差が安定するので、常に切断加工に用いるワイヤ列24に適切な張力を印加し続けることが可能となるため、良好な切断加工面が得られる。
請求項（抜粋）：
複数の溝を有する複数個のグルーブローラに往復走行するワイヤを巻き掛けてワイヤ列を形成し、ワイヤ列に被加工物であるインゴットを押し当てることにより、多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、少なくとも1つのグルーブローラのモータの回転速度を制御する制御部を設け、該モータに流れている電流値を検出し、前記電流値と予め設定されている定数値とを加算及び乗算し、他のグルーブローラのモータの制御部にモータ電流指令値として出力することを特徴とするワイヤソーのグルーブローラ駆動方法。
Fターム (14件)：
3C058AA05
, 3C058AA09
, 3C058AA12
, 3C058AA16
, 3C058BA04
, 3C058BA06
, 3C058BB02
, 3C058BB08
, 3C058BB09
, 3C058BC02
, 3C058CA01
, 3C058CB01
, 3C058CB03
, 3C058DA03
