特許

J-GLOBAL ID：200903071670844633

銅めつき層蒸着能力のある錯体と、その蒸着法及びめつき層溶蝕法

発明者： ジヨン.アンソニー.トーマス.ノーマン ,  ベス.アン.ミユラトーアー
出願人/特許権者： エアー.プロダクツ.アンド.ケミカルス.インコーポレーテツド
代理人 (1件)： 押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-038556
公開番号（公開出願番号）：特開平5-059551
出願日： 1992年01月29日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：

【要約】【目的】 銅金属めっき層をウエブ表面の金属もしくは他の電気的導電部分に選択的蒸着の能力のある揮発性液体有機金属銅錯体を提供して燐の汚染を防ぐことにある。【構成】で示される有機金属錯体である。[式中、R1とR3はおのおの独立してC1乃至C8のペルフルオロアルキル、R2はN、FもしくはC1乃至C8のペルフルオロアルキル、R4はH、C1乃至C8のアルキル、あるいはSi(R6)3、おのおののR5は独立してH又はC1乃至C8のアルキル、そしてR6は独立してフェニル又はC1乃至C8のアルキルである。]これらの有機金属銅錯体を用いて銅めっき層の蒸着法も提供される。

請求項（抜粋）：

銅金属めっき層をウエブ表面の金属もしくは他の電気的導電性部分に選択的に蒸着の能力を有する揮発性液体有機金属銅錯体であって、前記錯体が下記の化学式1、【化1】を有し、[式中、R1とR3はおのおの独立してC1乃至C8のペルフルオロアルキル、R2はH、FもしくはC1乃至C8のペルフルオロアルキル、R4はH、C1乃至C8のアルキル、もしくはSi(R6)3、おのおののR5は独立してHもしくはC1乃至C8のアルキル、そしておのおののR6は独立してフェニールもしくはC1乃至C8のアルキルであることを特徴とする錯体。

IPC (2件)：

C23C 16/18 ,  C07F 7/02

引用特許：

審査官引用 (1件)

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  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-038701   出願人：松下電工株式会社