特許

J-GLOBAL ID：200903071676877746

ダイヤモンドライクカーボン薄膜が形成された部材およびその形成方法

発明者： 梶田 直幸
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-006656
公開番号（公開出願番号）：特開平10-203896
出願日： 1997年01月17日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：

【要約】【課題】 基材との密着性の良い、高硬度のダイヤモンドライクカーボン(DLC)薄膜が形成された部材および形成方法を得る。【解決手段】 基材3上に、Si、W、Ti、Alからなる群から選ばれた金属薄膜からなる密着層60と、SiC、WC、TiC、Al4C3からなる群から選ばれたセラミック薄膜からなるDLC前処理層を形成し、その上にDLC薄膜80を形成する。このような密着層、DLC前処理層を介することによりDLC薄膜80の密着性が向上する。

請求項（抜粋）：

基材上に下地層を介してダイヤモンドライクカーボン薄膜が形成された部材において、上記下地層は上記基材上に形成された密着層とこの密着層上に形成されたDLC前処理層とからなり、上記密着層はシリコン、タングステン、チタン、アルミニウムからなる群から選ばれた金属薄膜からなるとともに、上記DLC前処理層は炭化シリコン、炭化タングステン、炭化チタン、炭化アルミニウムからなる群から選ばれたセラミック薄膜からなることを特徴とする、ダイヤモンドライクカーボン薄膜が形成された部材。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-203806
  
• 特開昭60-209001