超音波振動板及びその製造法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：栂村繁郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-354015
公開番号（公開出願番号）：特開平5-169027
出願日： 1991年12月19日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：

【要約】 (修正有)[目的]耐久性を強化し、侵食や溶解等によって発生する塵を除去する。[構成]金属母材上にハードクロム層を鍍金し、このハードクロム層の表面にヘアークラックを設け、ヘアークラック内に一部を侵入させるようにチタニウムナイトライド層をコーティングした3層構造にした超音波振動板及び製造法。

請求項（抜粋）：