特許

J-GLOBAL ID：200903071678681393

真空ポンプ

発明者： 星 利恭 ,  ▲吉▼村 將士
出願人/特許権者： 大晃機械工業株式会社
代理人 (1件)： 瀧野 秀雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-087537
公開番号（公開出願番号）：特開平11-280681
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】 半導体の製造段階で使用されるドライ真空ポンプは、ハードプロセスで生成物がケーシング内部に堆積される問題があった。【解決手段】 主ケーシング1の冷却水室7と吐出側サイドケース3の冷却水室14とを連通する冷却水通路26を設け、冷却水室14に接続する冷却水出口管27を三方弁28の入口28aに接続し、冷却水室7に接続する管路29を三方弁28の切替口28bに接続し、三方弁28の出口28cに接続する管路30を吸入側サイドケース2の冷却水室22に接続し、冷却水室22に設けた冷却水排出管31に、冷却水に背圧を加える絞り弁32を設けた。

請求項（抜粋）：

相互に噛み合うスクリューロータを収容する内筒部と、該内筒部の一側および他側に連通する吸入口及び吐出口とを有し、外壁面に冷却水室が設けられる主ケーシングと、該主ケーシングの一側に取付られ、外壁面に冷却水室が設けられる吸入側サイドケースと、上記主ケーシングの他側に取付られ、外壁面に冷却水室が設けられる吐出側サイドケースとを有する真空ポンプにおいて、該吐出側サイドケースの冷却水室と上記主ケースの冷却水室とを連通する冷却水通路を設け、上記吐出側サイドケースの冷却水室の冷却水出口管を三方弁の入口に接続し、該三方弁の切替口を上記主ケースの冷却水室に接続し、上記三方弁の出口を上記吸入側サイドケースの冷却水室に接続し、吸入側サイドケースの冷却水室に接続する冷却水排出管に弁を設けたことを特徴とする真空ポンプ。