特許

J-GLOBAL ID：200903071678809721

生産支援システム、重ね合わせ精度の検査方法および記録媒体

発明者： 青野 剛 ,  會澤 浩
出願人/特許権者： 株式会社日立超エル・エス・アイ・システムズ
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-279650
公開番号（公開出願番号）：特開2000-114132
出願日： 1998年10月01日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】 露光パターンの重ね合わせ精度を自動的に判定し、半導体装置の生産効率を大幅に向上する。【解決手段】 第2の検索部2bが、ミックスアンドマッチが適用された露光装置間のレンズディストーション変動をディストーション管理格納部6bから、予め測定された露光装置間の重ね合わせ精度を検査データ管理格納部6cから演算部2cが真の重ね合わせ精度のずれ量を算出する。判定部2dは、算出した真の重ね合わせ精度と、仕様管理格納部6aから当該工程の重ね合わせ精度の規格との比較を行い、重ね合わせ規格内であるか否かを判断し、その結果を表示部5に表示する。

請求項（抜粋）：

半導体製造の生産管理を支援する生産支援システムであって、予め測定されたすべての露光装置の組み合わせにおけるレンズディストーション変動を格納する第1のデータ格納部と、ロット毎の進行情報が格納された第2のデータ格納部と、重ね合わせ精度の検出対象となる2つのパターンを形成した2つの前記露光装置を前記第2のデータ格納部から検索する第1の検索部と、予め設定されたすべての露光行程における重ね合わせ精度の測定条件、検査規格を格納する第3のデータ格納部と、前記第1の検索部により検索された前記2つの露光装置間におけるレンズディストーション変動を前記第1のデータ格納部から検索し、重ね合わせ検査工程における重ね合わせ精度の測定条件、検査規格を前記第3のデータ格納部から検索する第2の検索部と、前記第2の検索部によって検索されたレンズディストーション変動、重ね合わせ精度の検査規格、およびオンライン化された重ね合わせ精度装置から重ね合わせ検査工程の重ね合わせずれ量を実測したデータを受信し、真の重ね合わせ精度を算出ならびに合否判定する演算部と、前記演算部が算出した真の重ね合わせ精度、前記第2の検索部に検索された重ね合わせ精度の検査規格、および合否判定結果を出力する出力部を備えたことを特徴とする生産支援システム。

IPC (2件)：

H01L 21/02 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/02 Z ,  H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/30 520 A

Fターム (6件)：

5F046AA01 ,  5F046AA18 ,  5F046DA13 ,  5F046DB05 ,  5F046DD01 ,  5F046DD03