光学部材検査装置および検査方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松岡修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-208398
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033388
出願日： 1995年07月24日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【課題】有効径の境界ラインの近傍領域に含まれる2値化ノイズや汚れによるノイズを除去するためには、処理装置への負荷が高い複雑な画像処理が必要となり、検査時間が長くなる。【解決手段】 CCDカメラ30により撮影された入力画像中の部品領域は、2値化されて欠陥、ノイズ等が図形として抽出される。良否判定手段47は、図形が設計上の有効径の境界ラインを含む帯状の最外周検出領域ROより内側に位置する場合には、比較的厳しい判定基準を用い、領域RO内に位置する場合にはより緩和された判定基準を用いて図形が欠陥に該当するか否かを判断する。

請求項（抜粋）：

被検物である光学部材を光軸方向から撮影する撮影手段と、撮影された前記光学部材の画像中に、前記光学部材の設計上の有効径を規定する境界ラインを含む帯状の最外周検査領域を含む複数の検査対象領域を設定する領域設定手段と、該領域設定手段により設定された領域毎に異なる判定基準を設定し、前記最外周検査領域には他の検査対象領域における判定基準より緩和された基準を設定する判定基準設定手段と、該判定基準設定手段により設定された判定基準を用いて前記各検査対象領域の欠陥を判定する判定手段とを備えることを特徴とする光学部材検査装置。

IPC (2件)：

G01M 11/00 , G01N 21/88

FI (2件)：

G01M 11/00 L , G01N 21/88 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭61-096439
特開平4-321186
特開昭61-096439

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