特許
J-GLOBAL ID：200903071703712401
光ファイバープローブ応用装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-020869
公開番号（公開出願番号）：特開平7-229908
出願日： 1994年02月18日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：
【要約】【目的】 光ファイバープローブ技術を汎用性の高い光ファイバープローブ応用技術に展開するために必要となる新たな装置構成を開示すること。【構成】 試料表面の原子と光ファイバープローブの先端原子との間に働く原子間力を光ファイバープローブの先端を試料面と平行な面内で振動させた際の振動数の変化から検出する機能を少なくとも有し、上記分割された光路に挿入されたアパーチャを通して得られた光信号から、光ファイバープローブの振動方向を検出する。
請求項（抜粋）：
尖鋭化された光ファイバープローブを試料に接近させ、該光ファイバープローブと試料間にエバネッセント光を伝播させる光ファイバープローブ応用装置において、試料からの光を通す光路を少なくとも2つに分割し、分割した光路のそれぞれに設けた光検出器からの信号を合成してファイバーを励振する基準位相を得ることを特徴とする光ファイバープローブ応用装置。
IPC (2件)：
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