特許
J-GLOBAL ID：200903071704220162
位置決め装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-337492
公開番号（公開出願番号）：特開平7-200009
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：
【要約】【目的】 位置決め性能とロバスト性を高い次元で両立させた位置決め装置を提供すること。【構成】 位置決め物体1は駆動手段によって駆動される。その際、位置決め物体1の変位はリニアエンコーダなどの位置計測手段3によって検出され、指令値rと位置計測手段3の出力rとの偏差eが、制御対象7の物理特性の位置依存性を考慮したロバストサーボ安定化補償器13に導かれ、駆動手段6への指令値uが生成される。ここで、ロバスト安定化補償器13においては、構造的な不確かさを含む動特性の集合がディスクリプタ形式で表現され、パラメータ可変手段11によってチューニングパラメータが可変とされる。
請求項（抜粋）：
物体を位置決め駆動する駆動手段と、前記物体の変位状態を観測する状態観測手段と、前記状態観測手段による状態観測信号と制御目標値によって、前記駆動手段への制御指令信号を生成する、前記物体の制御のための安定化補償器とを備えた位置決め装置において、ディスクリプタ形式によって、前記物体及び制御手段における構造的な不確かさを含む動特性の集合を表現し、前記ディスクリプタ形式による動特性の集合を含む一般化プラントにおける、外生入力から制御出力までのH無限大ノルムを最小にし、かつ前記ディスクリプタ形式による一般化プラントを安定化する、前記一般化プラントに対する安定化補償器を用いて、前記物体の制御のための安定化補償器の一部として、前記ディスクリプタ形式による一般化プラントに対する安定化補償器を含むことを特徴とする位置決め装置。
IPC (5件)：
G05B 13/02
, G03F 9/00
, G05D 3/12 305
, H01L 21/027
, H01L 21/68
