特許
J-GLOBAL ID:200903071707666854
ダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
石井 陽一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-375447
公開番号(公開出願番号):特開2000-178738
出願日: 1998年12月15日
公開日(公表日): 2000年06月27日
要約:
【要約】【課題】 金型、工具等のダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材において、特に高温条件下において、母材とダイヤモンド状炭素膜との密着性を向上させ、その寿命を向上させる。【解決手段】 母材とダイヤモンド状炭素膜との間に、下地層および中間層、または、中間層を有し、下地層または中間層の母材に接する界面から5nmまでの平均酸素濃度および/または母材の下地層または中間層に接する界面から5nmまでの平均酸素濃度は3〜50mol%であるダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材とする。
請求項(抜粋):
母材上にダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材であって、母材上に、周期表第4A族(4族)金属(Ti,Zr,Hf)、周期表第5A族(5族)金属(V,Nb,Ta)および周期表第6A族(6族)金属(Cr,Mo,W)のいずれか一種以上を含有する下地層を有し、この下地層上に、Siを含有する中間層を有し、この中間層上に、ダイヤモンド状炭素膜を有し、前記下地層の前記母材に接する界面から5nmまでの平均酸素濃度および/または前記母材の前記下地層に接する界面から5nmまでの平均酸素濃度が、3〜50mol%であるダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材。
IPC (4件):
C23C 16/27
, B22C 3/00
, B32B 9/00
, C23C 14/06
FI (6件):
C23C 16/26 A
, B22C 3/00 E
, B32B 9/00 A
, C23C 14/06 N
, C23C 14/06 B
, C23C 14/06 F
Fターム (92件):
4E092AA01
, 4E092AA05
, 4E092AA09
, 4E092GA10
, 4F100AA12C
, 4F100AA15C
, 4F100AA16D
, 4F100AA32C
, 4F100AA37B
, 4F100AA40C
, 4F100AA40D
, 4F100AB04A
, 4F100AB11D
, 4F100AB12C
, 4F100AB13C
, 4F100AB19C
, 4F100AB20C
, 4F100AB31A
, 4F100AB40A
, 4F100AB40C
, 4F100AS00B
, 4F100AT00A
, 4F100BA04
, 4F100BA07
, 4F100BA10A
, 4F100BA10B
, 4F100GB51
, 4F100JA20B
, 4F100JA20D
, 4F100JJ03
, 4F100JK09
, 4F100JK10
, 4F100JK12A
, 4F100JL11
, 4F100JM02B
, 4F100YY00B
, 4F100YY00D
, 4K029AA02
, 4K029AA04
, 4K029BA02
, 4K029BA07
, 4K029BA11
, 4K029BA16
, 4K029BA17
, 4K029BA31
, 4K029BA35
, 4K029BA41
, 4K029BA52
, 4K029BA54
, 4K029BA55
, 4K029BA56
, 4K029BD05
, 4K029CA03
, 4K029CA05
, 4K029CA06
, 4K029DC03
, 4K029DC05
, 4K029EA00
, 4K029FA05
, 4K030AA06
, 4K030AA09
, 4K030AA10
, 4K030BA06
, 4K030BA10
, 4K030BA12
, 4K030BA13
, 4K030BA17
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, 4K030FA01
, 4K030HA01
, 4K030HA04
, 4K030JA06
, 4K030LA01
, 4K030LA21
引用特許: