特許
J-GLOBAL ID：200903071707666854

ダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材

発明者：
津吉 淳弘

津吉 淳弘 について

, 
中山 正俊

中山 正俊 について


出願人/特許権者：
ティーディーケイ株式会社

ティーディーケイ株式会社 について


代理人 (1件)： 石井 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-375447
公開番号（公開出願番号）：特開2000-178738
出願日： 1998年12月15日
公開日（公表日）： 2000年06月27日
要約：
【要約】【課題】 金型、工具等のダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材において、特に高温条件下において、母材とダイヤモンド状炭素膜との密着性を向上させ、その寿命を向上させる。【解決手段】 母材とダイヤモンド状炭素膜との間に、下地層および中間層、または、中間層を有し、下地層または中間層の母材に接する界面から5nmまでの平均酸素濃度および/または母材の下地層または中間層に接する界面から5nmまでの平均酸素濃度は3〜50mol%であるダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材とする。
請求項（抜粋）：
母材上にダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材であって、母材上に、周期表第4A族(4族)金属(Ti,Zr,Hf)、周期表第5A族(5族)金属(V,Nb,Ta)および周期表第6A族(6族)金属(Cr,Mo,W)のいずれか一種以上を含有する下地層を有し、この下地層上に、Siを含有する中間層を有し、この中間層上に、ダイヤモンド状炭素膜を有し、前記下地層の前記母材に接する界面から5nmまでの平均酸素濃度および/または前記母材の前記下地層に接する界面から5nmまでの平均酸素濃度が、3〜50mol%であるダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材。
IPC (4件)：
C23C 16/27 ,  B22C 3/00 ,  B32B 9/00 ,  C23C 14/06
FI (6件)：
C23C 16/26 A ,  B22C 3/00 E ,  B32B 9/00 A ,  C23C 14/06 N ,  C23C 14/06 B ,  C23C 14/06 F
Fターム (92件)：
4E092AA01 ,  4E092AA05 ,  4E092AA09 ,  4E092GA10 ,  4F100AA12C ,  4F100AA15C ,  4F100AA16D ,  4F100AA32C ,  4F100AA37B ,  4F100AA40C ,  4F100AA40D ,  4F100AB04A ,  4F100AB11D ,  4F100AB12C ,  4F100AB13C ,  4F100AB19C ,  4F100AB20C ,  4F100AB31A ,  4F100AB40A ,  4F100AB40C ,  4F100AS00B ,  4F100AT00A ,  4F100BA04 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10B ,  4F100GB51 ,  4F100JA20B ,  4F100JA20D ,  4F100JJ03 ,  4F100JK09 ,  4F100JK10 ,  4F100JK12A ,  4F100JL11 ,  4F100JM02B ,  4F100YY00B ,  4F100YY00D ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029BA02 ,  4K029BA07 ,  4K029BA11 ,  4K029BA16 ,  4K029BA17 ,  4K029BA31 ,  4K029BA35 ,  4K029BA41 ,  4K029BA52 ,  4K029BA54 ,  4K029BA55 ,  4K029BA56 ,  4K029BD05 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029CA06 ,  4K029DC03 ,  4K029DC05 ,  4K029EA00 ,  4K029FA05 ,  4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA10 ,  4K030BA06 ,  4K030BA10 ,  4K030BA12 ,  4K030BA13 ,  4K030BA17 ,  4K030BA18 ,  4K030BA19 ,  4K030BA20 ,  4K030BA22 ,  4K030BA24 ,  4K030BA28 ,  4K030BA29 ,  4K030BA35 ,  4K030BA36 ,  4K030BA37 ,  4K030BA41 ,  4K030BA48 ,  4K030BA53 ,  4K030BA56 ,  4K030BA57 ,  4K030BB12 ,  4K030CA02 ,  4K030CA03 ,  4K030DA02 ,  4K030FA01 ,  4K030HA01 ,  4K030HA04 ,  4K030JA06 ,  4K030LA01 ,  4K030LA21
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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