特許
J-GLOBAL ID：200903071713603147
微細構造観察装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-125582
公開番号（公開出願番号）：特開平6-084493
出願日： 1992年04月17日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：
【要約】【目的】 従来の処理温度より低温で、かつ従来の処理時間より短時間で処理が可能で有るとともに試料のその場観察が可能な微細観察装置を提供すること。【構成】 プラズマを発生するプラズマ発生室1と、試料を置くために試料台8を有する試料室6と、電子顕微鏡を備えるとともに試料室6側に遮断弁11を有する試料観察室10と、試料室6及びプラズマ発生室1を排気して低圧に保つ真空ポンプ12とを含んで構成される。プラズマ照射による試料のエッチングは遮断弁11を閉じた状態で行い、エッチング終了後に試料室6内を排気した後に遮断弁11を開けて電子顕微鏡による試料の観察を行う。プラズマ発生室1の周辺に配置されたマイクロ波電源2と電磁コイル3を制御することにより、プラズマ照射量を制御する。
請求項（抜粋）：
電子サイクロトロン共鳴によりプラズマを発生させるプラズマ発生室と、前記プラズマ発生室に連通して配置し、試料を設置する試料室と、前記試料室に連通して設置し、前記試料室内の試料観察を行う観察装置を含む試料観察室と、前記試料室と前記観察室との間に設置し、これらの間を遮断して気密性を保持すると共に開放自在にした遮断部と、前記試料室を低圧下に保つための排気部と、を備え、前記プラズマ発生室により発生したプラズマを前記試料室に設置した試料に照射してエッチングした後に、前記遮断部を開放して前記試料観察室による試料の観察を行うことを特徴とする微細構造観察装置。
IPC (4件)：
H01J 37/20
, H01J 37/305
, H01J 37/32
, H05H 1/46
