特許
J-GLOBAL ID：200903071721572943
ラミネート装置及びラミネート方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
穂高 哲夫
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1999004939
公開番号（公開出願番号）：WO2000-015354
出願日： 1999年09月10日
公開日（公表日）： 2000年03月23日
要約：
【要約】転写層であるドライフィルムレジストのラミネート法を実施するためのラミネート装置であり、このラミネート装置は、基板搬送部(15)、基板予熱部(8)、ラミネート部(9)、(10)、フィルム基板間処理部(3)、フィルム供給部(2)、フィルムアキュムレート部(4)、ベースフィルム連続剥離部(12、13)、カバーフィルム連続剥離部(5)より構成される。ラミネートは一対のラミネートロール(9)、(10)により行う。(15)は、搬送ロールである。ラミネート後ベースフィルムは基板より剥離される。ラミネートロールの基板搬送方向に対して、前方にベースフィルム剥離用のガイドロール(12)がある。このガイドロールは上下または左右の自由方向に移動することで、ベースフィルム巻き上げた時に出来る基板面とベースフィルム間の角度、すなわちベースフィルムの剥離角度を任意に可変出来る構造となっている。
請求項（抜粋）：
ラミネート機構、前記ラミネート機構に所定の間隔を空けて基板を供給する基板搬送機構、前記ラミネート機構にベースフィルムに転写層が形成された長尺積層フィルムを前記転写層が前記基板に面するようにして供給する長尺積層フィルムの搬送機構、ラミネート後前記ベースフィルムを連続的に剥離する剥離機構を備えたラミネート装置であって、 前記ラミネート機構と剥離機構が、対向する一対のラミネートロールと、前記長尺積層フィルム側のラミネートロールの基板搬送方向の前方に設けられたベースフィルム剥離用ガイドロールからなるることを特徴とするラミネート装置。
IPC (3件)：
B05D 1/28
, B29C 65/48
, G03F 7/34
B05D 1/28
, B29C 65/48
, G03F 7/34
