センサおよびこの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：西川惠清 , 森厚夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-233607
公開番号（公開出願番号）：特開2005-070038
出願日： 2004年08月10日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：

【課題】欠陥を制御されたナノチューブを含み、物理または化学量を検出するためのセンサの提供。【解決手段】典型的なナノチューブ・センサ19は、信号処理回路21と接続して使用され、この信号処理回路21は、電力を供給し、そしてセンサからの信号を処理して、検出された量に比例した出力を生成する。ナノチューブは、シリコン酸化物などからなるベース・フィルム23上に配置され、ナノチューブの各端に電極25を含む。信号処理回路21は、限定されるものではないがひずみ、圧力、湿度および光などの検出された量を示す出力信号27を供給する。【選択図】図12

請求項（抜粋）：

物理および化学量の少なくとも一つを検出するためのセンサであって、物理および化学量の少なくとも一つに応じて電気的特徴に変化をもたらす、欠陥を制御されたナノチューブを備えることを特徴とするセンサ。

IPC (11件)：

G01N27/00 , C01B31/02 , G01B7/16 , G01D21/02 , G01K7/16 , G01K7/34 , G01L1/14 , G01L1/22 , G01N27/04 , G01N27/12 , G01N27/22

FI (16件)：

G01N27/00 D , C01B31/02 101F , G01D21/02 , G01K7/16 Z , G01K7/34 , G01L1/14 K , G01L1/22 M , G01N27/04 B , G01N27/04 C , G01N27/12 G , G01N27/12 J , G01N27/12 M , G01N27/12 P , G01N27/22 A , G01B7/18 J , G01B7/22

Fターム (60件)：

2F049CA04 , 2F049DA04 , 2F063AA25 , 2F063CA09 , 2F063DA02 , 2F063DA05 , 2F063DD02 , 2F063EC02 , 2F063EC09 , 2F063EC26 , 2F063HA06 , 2F063LA27 , 2F076BA01 , 2F076BD05 , 2F076BD07 , 2F076BD10 , 2F076BD13 , 2F076BD17 , 2F076BE01 , 2F076BE02 , 2F076BE09 , 2G046AA09 , 2G046BA01 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BB04 , 2G046BC05 , 2G046DC14 , 2G046DC16 , 2G046DC17 , 2G046DC18 , 2G046EA02 , 2G046EA04 , 2G046EB07 , 2G046FB00 , 2G046FE03 , 2G046FE38 , 2G060AA01 , 2G060AB02 , 2G060AE19 , 2G060AF07 , 2G060AF10 , 2G060AG08 , 2G060AG10 , 2G060BA09 , 2G060BB03 , 2G060BB09 , 2G060DA02 , 2G060DA27 , 2G060HC08 , 2G060HC13 , 2G060HC19 , 2G060HC21 , 2G060HD03 , 2G060JA02 , 4G146AA11 , 4G146AD23 , 4G146AD40 , 4G146BA04 , 4G146CB16

引用特許：

出願人引用 (2件)

導電性粒子-高分子系による歪みセンサ-
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-371503 出願人：木村豊明, 清水建設株式会社, マルハ株式会社, ミタケ電子工業株式会社, 株式会社フォーライフ
ナノセンサ
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-549958 出願人：プレジデント・アンド・フェローズ・オブ・ハーバード・カレッジ

審査官引用 (1件)

ナノセンサ
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-549958 出願人：プレジデント・アンド・フェローズ・オブ・ハーバード・カレッジ

引用文献：

出願人引用 (1件)

格子欠陥を持つナノチューブの電気伝導に関する規則

審査官引用 (1件)

格子欠陥を持つナノチューブの電気伝導に関する規則

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