特許

J-GLOBAL ID：200903071725076290

光スイッチの製造方法

発明者： 蟹江 智彦 ,  片山 誠 ,  柿井 俊昭
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-370451
公開番号（公開出願番号）：特開2003-172890
出願日： 2001年12月04日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：

【要約】【課題】 光導波路チップと電気機械チップとが精度良く確実に一体化された光スイッチの製造方法を提供する。【解決手段】 先ず、複数のコア領域と、コア領域を覆うように設けられるクラッド領域とを含む光導波路が第1の基材上に形成される(S101)。光導波路の表層部にはアルカリ金属を含有するガラス膜が形成されて光導波路チップが作製される(S102)。第2の基材上に、光導波路を伝搬する光の光路を変更する可動部と、半導体から構成される静止部とが形成されてMEMチップが製造される(S103)。そして、静止部とガラス膜とが陽極接合により接合されて光スイッチが製造される(S104)。

請求項（抜粋）：

光が伝搬できる複数の光路を有する光導波路層と、前記複数の光路のうち光が伝搬する光路を変更する可動部とを備える光スイッチを製造する方法であって、第1の基材上に、前記光導波路層を形成し、アルカリ金属を含有するガラス膜を前記光導波路層の表面上又は表層部内に形成し、第2の基材上に、半導体で構成された静止部と、前記静止部に対して移動可能な前記可動部とを形成し、前記ガラス膜と前記静止部とを陽極接合することにより前記第1及び第2の基材を一体化して、光スイッチを製造することを特徴とする光スイッチの製造方法。

IPC (2件)：

G02B 26/08 ,  G02B 6/12

FI (2件)：

G02B 26/08 E ,  G02B 6/12 H

Fターム (15件)：

2H041AA15 ,  2H041AB13 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08 ,  2H047KA03 ,  2H047KA12 ,  2H047LA12 ,  2H047PA04 ,  2H047PA21 ,  2H047PA24 ,  2H047QA04 ,  2H047RA08 ,  2H047TA44