特許
J-GLOBAL ID：200903071732673466
電子放出素子とその電極形成方法およびそれに使用するレジスト材料
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小西 淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-221890
公開番号（公開出願番号）：特開平10-050204
出願日： 1996年08月06日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】 特性の良い金属粒子の焼成体からなる均一な針状形状の電極を有する電子放出素子とその電極形成方法等を提供する。【解決手段】 金属微粒子を電磁放射線感応型レジストに分散させ、当該レジストを電極形成部の開口内に塗布し、露光、現像することにより電極の中間構造体を形成し、当該電極の中間構造体を焼成することにより金属質の焼成体からなる針状のエミッター電極が形成できる。金属微粒子としては、ニッケル、白金、銅が優れた特性を与える。
請求項（抜粋）：
金属微粒子の焼成体からなる電極を有する電子放出素子であって、当該金属微粒子の焼成体が、金属微粒子を分散させた電磁放射線感応型レジスト層を電磁放射線に露出、現像して形成された電極の中間構造体を焼成することにより得られものであることを特徴とする電子放出素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 1/30 B
, H01J 9/02 B
