特許

J-GLOBAL ID：200903071737978370

X線窓

発明者： ポール レイモンド チョーカー
出願人/特許権者： ユナイテッド キングドム アトミック エナヂイ オーソリティ
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-083894
公開番号（公開出願番号）：特開平7-294700
出願日： 1995年04月10日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、大気圧又はそれ以上の差圧に耐え、また、良好なX線透過率を有する改良されたダイヤモンドX線窓を提供することを目的とする。【構成】 X線窓は、片面にダイヤモンドリブが一体の支持構造を提供するように形成されているダイヤモンドの膜を備える。また、X線窓の製造方法は、ダイヤモンド層を基板材料の上に堆積する工程と、リブのアレイをダイヤモンドの層の露出面の上に形成する工程と、基板材料を除去して、片面の上に形成された一体の支持リブのアレイを有するダイヤモンドの膜を作る工程とを有する。

請求項（抜粋）：

一体の支持構造を作るようにダイヤモンドリブのアレイが、片面に形成されたダイヤモンドの膜を有するX線窓。

IPC (8件)：

G21K 5/00 ,  C01B 31/06 ,  C23C 14/06 ,  C23C 16/02 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/56 ,  C23F 1/00 ,  H01J 35/18