測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好千明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-230439
公開番号（公開出願番号）：特開平11-063961
出願日： 1997年08月12日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：

【要約】【課題】空気消費量を押さえ、かつ調整が容易な測定装置を提供する。【解決手段】測定装置1を、フィルター回路3と、フィルター回路3からの空気を流入経路4より流入し、第1及び第2の流出経路5,6より流出させる供給回路7と、被測定物8の測定を行う第1及び第2の測定回路9,10と、被測定物8の測定台11へのセット状態を検知するセンサーノズル31を有したセンサー回路12とにより構成する。第1及び第2の空気マイクロメータ23,24に測定ノズル27,28を接続する。第2の流出経路6に固定絞り42を設ける。流入経路4と第1の流出経路5の間に、通常時において両経路4,5を閉鎖し、かつ第2の流出経路6の固定絞り42より下流側の背圧の上昇に伴って作動し、両経路4,5を開放する空気制御弁43を設ける。

請求項（抜粋）：

所定位置にセットされた被測定物の測定部位へ空気を噴出させる測定ノズル、及び該測定ノズルへ空気を送出し、かつ当該空気の流量又は背圧を測定する空気マイクロメータを有した測定回路と、所定位置にセットされた被測定物へ空気を噴出させるセンサーノズルを有したセンサー回路と、流入経路より流入した空気供給源からの空気を、第1の流出経路を介して前記測定回路へ流出するとともに、第2の流出経路を介して前記センサー回路へ流出する供給回路と、からなり、該供給回路の前記第2の流出経路に絞りを設ける一方、前記流入経路と前記第1の流出経路との間に、前記流入経路から前記第1の流出経路への通流を閉鎖するとともに、前記第2の流出経路における前記絞りより下流側の背圧の上昇に伴って作動し、前記流入経路から前記第1の流出経路への通流を開放する開閉手段を設けたことを特徴とする測定装置。

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