特許
J-GLOBAL ID：200903071741009412
RFプラズマのパワーモニター
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-341022
公開番号（公開出願番号）：特開平5-266990
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、RFプラズマ処理を制御するためのパワーモニターを提供することである。【構成】 本発明のパワーモニターは、主に、プラズマ負荷90と、該プラズマ負荷90に接続された感知付属装置12とサンプルホールド周波数変換器14とからなる感知ヘッド10と、前記サンプルホールド周波数変換器14に接続されたRMS変換器52及び54と零交差検波器64及び65と乗算器60と該乗算器60に接続された積分器62とアナログ-デジタル変換器55、56、63及び70とフリップフロップ68とデータプロセッサ50とからなる処理装置11と、該処理装置11のデータプロセッサ50に接続されたRF発電機80と、該RF発電機80と前記感知付属装置12との間に接続された整合ネットワーク75と、前記処理装置11のデータプロセッサ50に接続された表示端末装置87と、から構成される。
請求項（抜粋）：
a.被加工体を含んでいるプラズマチャンバーにRF発電機を接続することと、b.前記発電機と前記チャンバーとの間に直列に感知ヘッドを接続することと、c.前記感知ヘッド内でDCバイアス電圧と、RF電圧と、RF電流とを感知することと、d.感知された電圧および電流を処理して真電力データを前記プラズマチャンバーの入力に与えることと、e.制御データをRF発電機へフィードバックして前記プラズマチャンバーの入力の電力を一定に維持することと、を有するRFプラズマの電気パラメータを監視する方法。
IPC (4件)：
H05H 1/00
, C23C 14/54
, C23F 4/00
, H05H 1/46
