特許
J-GLOBAL ID：200903071745538940
リニアモータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-310501
公開番号（公開出願番号）：特開平8-167554
出願日： 1994年12月14日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：
【要約】【目的】 リニアモータの発熱による温度の上昇を抑えると共に相対移動する部材間の接触を防止する。【構成】 循環用のポンプ7により流体17を配管5,6,19を介してリニアモータ本体18の固定子22のコイル2を覆うようにして設けられた容器1中に冷却用の流体17を流して、流体17によりコイル2からの発生熱を吸収する。配管6のリニアモータ本体18の容器1の入り口付近に、流体17の圧力を検出する圧力センサ11を設け、圧力センサ11の圧力の測定値が予め設定された設定圧力値を越えた場合、ポンプ制御系9によりポンプ7の出力を低下させるか、又はポンプ7の作動を停止する。
請求項（抜粋）：
相対移動する2つの部材の一方に取り付けられたコイルと、他方の部材に取り付けられた発磁体とを有するリニアモータにおいて、前記コイルを囲む外筒中に循環配管を介して冷却媒体を循環させる循環ポンプと、前記冷却媒体の圧力を検出する圧力検出手段と、該圧力検出手段からの検出圧力値に基づいて、前記循環ポンプの動作を制御する制御手段と、を有することを特徴とするリニアモータ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/30 503 A
, H01L 21/30 515 F
, H01L 21/30 515 G
