特許
J-GLOBAL ID:200903071747749256

三次元計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 川口 光男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-053144
公開番号(公開出願番号):特開2003-279329
出願日: 2002年02月28日
公開日(公表日): 2003年10月02日
要約:
【要約】【課題】計測対象物の三次元形状を用いて計測するに際し、計測に要する時間の短縮を図ることの可能な三次元計測装置を提供する。【解決手段】印刷状態検査装置1は、クリームハンダHの印刷されてなるプリント基板Kを載置するためのテーブルと、プリント基板Kの表面に対し位相の異なる正弦波状の3つの光成分パターンを照射するための照射手段を構成する照明装置3と、プリント基板K上の前記照射された部分を撮像するための撮像手段を構成するCCDカメラ4とを備えている。制御装置7は、照明装置3の照射によって得られる画像データから、平面であるプリント基板K部の画像データから光成分毎の輝度と座標との関係を示すチャートを得て、互いの相対位相角度を算出する。また、得られた画像データ及び算出された相対位相角度から位相シフト法を用いて、クリームハンダHの高さを演算する。
請求項(抜粋):
計測対象物に対し、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる少なくとも2つの光成分パターンを同時に照射可能な照射手段と、前記光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像可能な撮像手段と、前記照射手段が照射する少なくとも2つの光成分パターンに基づき定まる、前記少なくとも2つの光成分パターンの互いの相対位相角度と、前記撮像手段にて前記計測対象物からの反射光を光成分毎に撮像して得られた少なくとも2通りの画像データとに基づき、少なくとも前記計測対象物の高さを演算可能な演算手段とを備えたことを特徴とする三次元計測装置。
IPC (2件):
G01B 11/24 ,  G01B 11/25
FI (2件):
G01B 11/24 K ,  G01B 11/24 E
Fターム (22件):
2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065AA54 ,  2F065AA61 ,  2F065BB02 ,  2F065BB05 ,  2F065CC01 ,  2F065CC26 ,  2F065FF00 ,  2F065FF04 ,  2F065GG23 ,  2F065HH07 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ24 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL20 ,  2F065LL22 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31

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