特許
J-GLOBAL ID：200903071748124012
外周刃切断加工法および加工装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
西 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-199678
公開番号（公開出願番号）：特開2000-015622
出願日： 1998年06月29日
公開日（公表日）： 2000年01月18日
要約：
【要約】【課題】 セラミック、磁性合金等の硬脆材料の外周刃切断加工法において、加工精度を維持しながら加工能率を向上させ、加工液の使用量を抑制する。【解決手段】 加工液をワークの切削部に供給しながら高速回転している外周刃ブレードの水平な接線方向にワークを送って切断する外周刃切断加工法において、ワークにその送り方向と直交する方向の微小な振動を与え、外周刃ブレードの前方及び両側方からミスト状の加工液を供給しながら切断する。ミスト状の加工液は、加工液を供給する給液管とこれに所定角度を成す空気噴射管とからなる複合ノズルを外周刃ブレードの前方及び両側方に配置して供給する。外周刃ブレードとワークとの間で接触・離隔を繰り返す断続切断現象を生じ、離隔時に切削部への加工液の流入が容易となり、切屑の排除や切削部の冷却を促進させ、砥粒の磨耗を抑制し、加工能率を向上させ、加工精度の低下も防止できる。
請求項（抜粋）：
加工液をワークの切削部に供給しながら高速回転している外周刃ブレードの水平な接線方向にワークを送って切断する外周刃切断加工法において、ワークにその送り方向と直交する方向の微小な振動を与えながら切断することを特徴とする、外周刃切断加工法。
IPC (4件)：
B28D 1/04
, B28D 5/02
, B28D 7/02
, H01L 21/301
B28D 1/04 Z
, B28D 5/02 Z
, B28D 7/02
, H01L 21/78 F
3C069AA01
, 3C069BA04
, 3C069BB01
, 3C069BC01
, 3C069CA02
, 3C069CA03
, 3C069CB01
, 3C069CB04
, 3C069DA06
, 3C069DA07
, 3C069EA01
, 3C069EA02
