特許

J-GLOBAL ID：200903071765188121

ステージ装置およびステージ制御方法並びに露光装置

発明者： 高橋 正人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-291689
公開番号（公開出願番号）：特開2001-110717
出願日： 1999年10月13日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】 ステージ本体の移動に伴う反力の影響を抑止する。【解決手段】 試料を保持して駆動されるステージ本体2、5と、ステージ本体2,5の駆動に伴う反力に対抗する推力を発生する推力発生機構13、46、31、48とを備えたステージ装置4、7において、ステージ本体2、5の作動に要する時間と推力発生機構の作動に要する時間との時間差に基づいてステージ本体2、5および推力発生機構13、46、31、48の作動タイミングを調整する調整装置62を備える。

請求項（抜粋）：

試料を保持して駆動されるステージ本体と、該ステージ本体の駆動に伴う反力に対抗する推力を発生する推力発生機構とを備えたステージ装置において、前記ステージ本体の作動に要する時間と前記推力発生機構の作動に要する時間との時間差に基づいて前記ステージ本体および前記推力発生機構の作動タイミングを調整する調整装置を備えることを特徴とするステージ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 503 F

Fターム (7件)：

5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC06 ,  5F046CC14 ,  5F046CC18