特許

J-GLOBAL ID：200903071765709768

光学式変位センサ

発明者： 新保 晃平
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-299540
公開番号（公開出願番号）：特開平10-122813
出願日： 1996年10月23日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】 センサの感度変化に影響を受けない、光学式変位センサを提供する。【解決手段】 被測定面6よりの反射光を第1の光束分岐手段8によって分岐された一方の光束の集光点の手前側に配置された第1のビーム径検出手段11,12と、分岐されたもう一方の光束をさらに分岐する第2の光束分岐手段9によって分岐されたそれぞれの光束の集光点の後ろ側で、微少量だけずらして配置された第2,第3のビーム径検出手段13,14,15,16を有する各ビーム径検出手段の出力信号Va,Vb,Vcより、被測定面6と対物レンズ集光点の距離を演算して近接した2本のフォーカスエラー信号を求める。非測定面の傾斜角が大きく変化するレンズ面形状測定においても、フォーカスエラー誤差の影響をキャンセルすることができる。

請求項（抜粋）：

光源よりの光ビームを対物レンズを介して被測定面に集光し、その反射光を受光してフォーカスエラー信号を得、該フォーカスエラー信号より被測定面と対物レンズ集光点の距離を算出する光学式変位センサにおいて、前記被測定面よりの反射光を前記対物レンズを通して受光する第1の光束分岐手段と、該第1の光束分岐手段によって分岐された一方の光束の集光点の手前側に配置された第1のビーム径検出手段と、分岐されたもう一方の光束をさらに分岐する第2の光束分岐手段と、該第2の光束分岐手段によって分岐されたそれぞれの光束の集光点の後ろ側で、微少量だけずらして配置された第2,第3のビーム径検出手段と、各ビーム径検出手段の出力信号より、被測定面と対物レンズ集光点の距離を演算する信号処理装置とを備え、近接した2本のフォーカスエラー信号を用いて変位を求めることを特徴とした光学式変位センサ。

IPC (5件)：

G01B 11/00 ,  G01B 11/24 ,  G01M 11/00 ,  G02B 7/28 ,  G03B 13/36

FI (5件)：

G01B 11/00 B ,  G01B 11/24 M ,  G01M 11/00 L ,  G02B 7/11 H ,  G03B 3/00 A