特許

J-GLOBAL ID：200903071766379753

照明光学装置、該照明光学装置を備えた露光装置、および該露光装置を用いたマイクロデバイス製造方法

発明者： 谷津 修 ,  渋谷 眞人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-313205
公開番号（公開出願番号）：特開2001-135560
出願日： 1999年11月04日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：

【要約】【課題】 光量損失を良好に抑えつつ、被照射面に形成される照明領域の大きさと照明NAとをそれぞれ所望の値に調整することのできる照明光学装置。【解決手段】 被照射面を照明する照明光学装置である。被照射面における照明開口数を調整するために焦点距離または倍率が可変の第1変倍光学系(4)と、被照射面に形成される照明領域の大きさを変化させるために焦点距離または倍率が可変の第2変倍光学系(7)とを備えている。

請求項（抜粋）：

被照射面を照明する照明光学装置において、前記被照射面における照明開口数を調整するために焦点距離または倍率が可変の第1変倍光学系と、前記被照射面に形成される照明領域の大きさを変化させるために焦点距離または倍率が可変の第2変倍光学系とを備えていることを特徴とする照明光学装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (3件)：

5F046CA04 ,  5F046CB05 ,  5F046CB13