特許
J-GLOBAL ID：200903071769475567
照明光学系
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
篠原 泰司
, 藤中 雅之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-371597
公開番号（公開出願番号）：特開2005-148759
出願日： 2004年12月22日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：
【課題】拡散面の拡散特性を制御することにより、最適な開口数を有し、一定の範囲内においてムラのない均一で明るい照明光を供給できる照明光学系を提供する。【解決手段】光源面1と標本面9との間に配置された照明光学系中に拡散面3と拡散面3からの拡散光を標本面9に投影するレンズ群とを備え、前記レンズ群が、光源面1側から順に配置されたコレクタレンズ2と光源像投影レンズ6とコンデンサレンズ8とを有し、拡散面3が、各部分毎に異なる拡散特性を有する。 また、拡散面3が、コレクタレンズ2と光源像投影レンズ6との間に配置され、拡散面3での拡散光の拡散角度θが、次の条件を満足する。 fCOはコレクタレンズ2、fFSは光源像投影レンズ6、fCDはコンデンサレンズ8夫々の焦点距離、NAはコンデンサレンズ8から射出される照明光の開口数、Dは光源面1サイズの半径又は対角長の半値である。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
光源と物体との間に配置された照明光学系において、
該照明光学系中に少なくとも1面の拡散面と、該拡散面からの拡散光を前記物体に投影するレンズ群とを備え、
前記拡散面が、各部分毎に異なる拡散特性を有していることを特徴とする照明光学系。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
2H052AC04
, 2H052AC05
, 2H052AC06
, 2H052AC25
出願人引用 (3件)
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米国特許第第5,418,631号明細書
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米国特許第5,046,793号明細書
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特開昭59-111124号公報
審査官引用 (1件)
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