特許
J-GLOBAL ID:200903071769560505

マルチビーム光源装置及び当該装置を用いたマルチビーム走査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中島 司朗
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-375071
公開番号(公開出願番号):特開2001-188189
出願日: 1999年12月28日
公開日(公表日): 2001年07月10日
要約:
【要約】【課題】 光学部品の光軸調整などの位置合わせと複数の光ビームの副走査方向の間隔の調整が容易であると共に装置を小型化できるマルチビーム光源装置を提供する。【解決手段】 予め位置調整されたハーフミラー11と二分割センサ14が一体的に保持された移動台101を、半導体レーザLD1,LD2、ステッピングモータ15を搭載した基台100に移動可能に保持する。ステッピングモータ15を回転駆動させて、移動台101を基台100に対して相対的に移動させることにより、光ビーム間の間隔の調整を行う。
請求項(抜粋):
光学部品として、複数の光源と、各光源から射出される光ビームを合成する合成素子と、当該合成された光ビームのビーム位置を検出するための検出素子とを有し、複数の光ビームを間隔をおいて射出するマルチビーム光源装置であって、前記光学部品の内、全ての光源と合成素子を含む組合わせを除き、少なくとも2以上の光学部品を保持する保持部材と、前記保持部材を他の残りの光学部品に対して相対的に移動させる移動手段と、前記検出素子による検出結果を参照して、光ビームが所定の間隔になるように前記移動手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とするマルチビーム光源装置。
FI (2件):
G02B 26/10 B ,  G02B 26/10 A
Fターム (5件):
2H045AA01 ,  2H045BA02 ,  2H045BA22 ,  2H045BA33 ,  2H045DA04

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