特許
J-GLOBAL ID:200903071772891059

真空包装装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 曾我 道照 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-336684
公開番号(公開出願番号):特開平5-170226
出願日: 1991年12月19日
公開日(公表日): 1993年07月09日
要約:
【要約】【目的】 チャンバ内の圧力が低下して、サチュレート状態に達したら直ちに次工程へ移行できる効率的な真空包装装置を提供する。【構成】 真空包装装置は、減圧可能なチャンバ容器と、同チャンバ容器に設けられ同チャンバ容器内に置かれた袋材を閉じるシール装置と、チャンバ容器の内部と連通して設けられた圧力センサと、チャンバ容器に脱気バルブ9を介して連絡した真空ポンプ11と、前記シール装置、圧力センサ及び真空ポンプ11にそれぞれ電気的に連絡した制御装置31とを有している。そして、この制御装置31は、減圧サチュレートチェックタイマを内蔵し、そのタイマのカウントアップに続き、チャンバ容器内の圧力変動が所定値以下にあるか否かを判断する判定機構を備える。
請求項(抜粋):
開閉自在の蓋を備えた減圧自在のチャンバ容器と、該チャンバ容器に設けられ同チャンバ容器内にセットされた袋材の開口を閉じるシール装置と、前記チャンバ容器の内部と連通して設けられた圧力センサと、前記チャンバ容器に脱気バルブを介して連絡した真空ポンプと、前記シール装置、圧力センサ及び真空ポンプにそれぞれ電気的に連絡した制御装置とを有し、該制御装置は、減圧サチュレートチェックタイマを内蔵し、同サチュレートチェックタイマがカウントアップし、圧力変動が所定値以下になったら脱気工程を終了することを特徴とする真空包装装置。

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