特許
J-GLOBAL ID:200903071774967206
立体物の形状検査装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高橋 勇
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-338243
公開番号(公開出願番号):特開平9-152316
出願日: 1995年12月01日
公開日(公表日): 1997年06月10日
要約:
【要約】【課題】 ワーク表面の反射率のムラや、照明のムラがあっても画像処理により立体物の欠陥部分を安定して検出すること。【解決手段】 検査対象の立体物1に光切断線(スリット光)を投影する光源部22と、この光源部22によってスリット光が投影された立体物の表面を撮像する撮像部18と、この撮像部18から出力された光切断線投影画像データの明度を補正すると共に当該明度補正した光切断線投影画像データと予め定められた標準モデル画像データとの不一致部分を抽出する画像処理部12とを備えている。しかも、光源部22が、外部指令に基づいて全光束光を立体部に投影する全光束光投影機能22Aを備え、撮像部18が、光束光投影機能22Aによって全光束光が投影された立体物1の表面を撮像すると共に当該全光束投影画像データを画像処理部12に出力する前光束投影画像撮像機能18Bを備えた。
請求項(抜粋):
検査対象の立体物に光切断線を投影する光源部と、この光源部によって光切断線が投影された前記立体物の表面を撮像する撮像部と、この撮像部から出力された光切断線投影画像データの明度を補正すると共に当該明度補正した光切断線投影画像データと予め定められた標準モデル画像データとの不一致部分を抽出する画像処理部とを備え、前記光源部が、外部指令に基づいて全光束光を前記立体部に投影する全光束光投影機能を備え、前記撮像部が、前記光束光投影機能によって全光束光が投影された前記立体物の表面を撮像すると共に当該全光束投影画像データを前記画像処理部に出力する全光束投影画像撮像機能を備え、前記画像処理部が、前記撮像部から出力された全光束投影画像データに基づいて前記同一対象物についての前記光切断線投影画像データの明度を補正する明度補正手段を備えたことを特徴とする立体物の形状検査装置。
IPC (5件):
G01B 11/24
, G01B 11/30
, G01N 21/88
, G06T 7/00
, G06T 1/00
FI (6件):
G01B 11/24 A
, G01B 11/30 Z
, G01N 21/88 Z
, G06F 15/62 415
, G06F 15/64 M
, G06F 15/70 455 A
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