特許
J-GLOBAL ID:200903071779291561

マイクロチャンネルプレート製造用可溶性コアガラス

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中村 静男 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-088328
公開番号(公開出願番号):特開平7-291651
出願日: 1994年04月26日
公開日(公表日): 1995年11月07日
要約:
【要約】【構成】 バッチから計算した酸化物基準のモル%で20〜30%のSiO2 、15〜30%のB2 O3 、20〜48%のBaO、0〜30%のSrOおよび2〜10%のY2 O3 を含み、SiO2 とB2 O3 の合量が45〜53%、BaOとSrOの合量が45〜50%であることを特徴とするマイクロチャンネルプレート製造用可溶性コアガラス。【効果】 エッチング速度が比較的に高いクラッドガラスに対してもエッチング速度の比が例えば2,500倍以上と高く、特に燐酸塩系クラッドガラスに適合する熱的性質を有するマイクロチャンネルプレート製造用可溶性コアガラスが提供された。
請求項(抜粋):
クラッドガラスとともにマイクロチャンネルプレートの製造に用いられる可溶性コアガラスにおいて、バッチから計算した酸化物基準のモル%で20〜30%のSiO2 、15〜30%のB2 O3 、20〜48%のBaO、0〜30%のSrOおよび2〜10%のY2 O3 を含み、SiO2 とB2 O3の合量が45〜53%、BaOとSrOの合量が45〜50%であることを特徴とする可溶性コアガラス。
IPC (3件):
C03C 3/068 ,  H01J 9/12 ,  H01J 43/24

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