特許
J-GLOBAL ID：200903071788636784
気体中の超微粒子濃度計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塚本 正文 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-148271
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312710
出願日： 1992年05月14日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：
【要約】【目的】 粒子径0.1μm以下の浮遊微粒子濃度を測定環境の汚染,作業員への悪影響なしに高精度で計測する気体中の超微粒子濃度計測装置を提供する。【構成】 浮遊微粒子を含むサンプル空気を導入して静電分級器で分級し、凝縮性気体発生部にて発生した超純水水蒸気と上記サンプル気体とを混合器にて混合び冷却して発生した液滴をレーザー光散乱粒子カウント部で計測するようにした気体中の超微粒子濃度計測装置において、上記凝縮性気体として超純水水蒸気を使用するとともに、上記混合器として超純水水蒸気を導入した容器2内にサンプル空気を導入し、両者を気相混合冷却して超純水の水滴を発生するようにしたこと。
請求項（抜粋）：
浮遊微粒子を含むサンプル空気を導入して静電分級器で分級し、凝縮性気体発生部にて発生した凝縮性気体と上記サンプル気体とを混合器にて混合及び冷却して発生した液滴をレーザー光散乱粒子カウント部で計測するようにした気体中の超微粒子濃度計測装置において、上記凝縮性気体として超純水水蒸気を使用するとともに、上記混合器として超純水水蒸気を導入した容器内にサンプル空気を導入し、両者を気相混合冷却して超純水の水滴を発生するようにしたことを特徴とする空気中の超微粒子濃度計測装置。
IPC (2件)：
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