特許
J-GLOBAL ID:200903071794952779

電子放出素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-033086
公開番号(公開出願番号):特開平5-074327
出願日: 1992年02月20日
公開日(公表日): 1993年03月26日
要約:
【要約】【目的】 容易に製造することができて歩留まりと信頼性を向上させることができ、また、電子ビームの広がりを抑えて質の高い電子ビームを得ることができるようにした電子放出素子を提供する。【構成】 絶縁基板11上にベース電極12を形成する。ベース電極12上の所定の部分において複数の陰極部13を放射状に形成する。各陰極部13はエッジ部14を有し、幅が徐々に変化する楔状部分を有し、特に、その楔状先端部15がある中心方向を向くように形成する。陰極部13と所定の間隔をおいて絶縁層16および制御電極17を順次形成する。陰極部13と制御電極17との間に電圧を印加することにより、陰極部13、特に、楔状先端部15に電気力線を集中させ、電子ビームを放出させる。
請求項(抜粋):
絶縁基板と、この絶縁基板上に形成されたベース電極と、このベース電極上の所定の部分において放射状に形成され、エッジ部を有し、少なくとも一部の幅が徐々に変化する楔状部分を有する複数の陰極部と、この陰極部の少なくとも楔状部分と所定の間隔をおいて形成された絶縁層と、この絶縁層上に形成され、上記陰極部から電子を引き出すための制御電極とを備えた電子放出素子。
IPC (3件):
H01J 1/30 ,  H01J 29/04 ,  H01J 37/073
引用特許:
審査官引用 (9件)
  • 特開昭63-274048
  • 特開平2-046636
  • 特開平2-276129
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