化学物質を分析する装置およびその方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金倉喬二
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-522501
公開番号（公開出願番号）：特表平9-509781
出願日： 1995年02月27日
公開日（公表日）： 1997年09月30日
要約：

【要約】1つの真空ポンピング・ステージ53に始まり、連続的に1つまたはそれ以上の真空ポンピング・ステージ41、42に続く多極イオンガイド40を、大気圧イオン源質量分析器システムにとりいれた。多極イオンガイドを用いることにより、電子スプレーまたは大気圧化学的イオン化または誘導的に連結されたプラズマイオン源から真空に侵入したイオンを、効率よく伝達および絞ることができる。多極イオンガイドの長さ方向の一部の背景圧は、イオン衝突から発生する運動エネルギー低減させるのに十分高く設定される。この運動エネルギーの減少により、多極イオンガイドを通過するイオンのエネルギースプレーの広がりは減少する。多極イオンガイドのDCオフセット電圧を、イオンエネルギーの平均を調整するように設定するとともに、イオンガイドおよびq値を、イオンガイドを通過するイオン質量電荷の範囲を減少または増大させるように調整する。多極イオンガイドおよび複数真空ポンピング・ステージ多極イオンガイドの特徴を用いて、装置のコストを低減させるとともに性能を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

化学物質を分析する装置において、 a)大気圧もしくはその付近で運用され、気体状イオンを、溶液中の分析対象物から発生させ、そのイオンを管を介して第1真空ポンピング・ステージへ運ぶイオン源、 b)各真空ポンピング・ステージからガスを排出可能とした複数の真空ポンピング・ステージ、 c)前記各真空ポンピング・ステージに配置された質量分析器および検出器、 d)所定の真空ポンピング・ステージ中に始まり、その後のポンピング・ステージに連続し、等間隔かつ平行に配置され、長さ方向に延びた複数の極を有し、前記真空ポンピング・ステージに配置され、前記イオン源から発生されたイオンを、前記真空ステージの一部を介して、前記真空ポンピング・ステージへ導く多極イオンガイド、 e)前記多極イオンガイドの前記極に、AC/DC電圧を供給する電圧供給手段、 f)前記極に供給された前記AC/DC電圧およびAC周波数を制御する制御手段、を備えたことを特徴とする化学物質を分析する装置。

IPC (3件)：

H01J 49/04 , G01N 27/62 , H01J 49/26

FI (6件)：

H01J 49/04 , G01N 27/62 E , G01N 27/62 G , G01N 27/62 K , G01N 27/62 L , H01J 49/26

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭58-019848
特表平2-503354
特表平5-504017

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