特許

J-GLOBAL ID：200903071798371843

透明性化合物、透明性樹脂およびこの透明性樹脂を用いた感光性樹脂組成物並びにこの感光性樹脂組成物を用いた半導体装置の製造方法

発明者： 押田 敦史 ,  熊田 輝彦
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-113503
公開番号（公開出願番号）：特開平11-222460
出願日： 1998年04月23日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：

【要約】【課題】 ArFエキシマレーザ等の短波長領域に高い透明性と高い感光性並びに十分なドライエッチング耐性を有した感光性樹脂組成物を得る。【解決手段】 感光性樹脂組成物は下記一般式(1)または(2)で示される化合物と、【化1】二重結合を有するカルボン酸とを強酸中で反応させて得た重合可能な化合物を含有した透明性樹脂と、光または放射線の照射により酸を発生する化合物とを含有する。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)または一般式(2)で示される化合物と、【化1】カルボン酸とを強酸中で反応させて得た透明性化合物。

IPC (12件)：

C07C 69/54 ,  C08F 20/10 ,  C08F 22/10 ,  C08K 5/10 ,  C08L 33/04 ,  C08L 35/02 ,  C09D133/04 ,  C09D135/02 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/038 505 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

FI (12件)：

C07C 69/54 B ,  C08F 20/10 ,  C08F 22/10 ,  C08K 5/10 ,  C08L 33/04 ,  C08L 35/02 ,  C09D133/04 ,  C09D135/02 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/038 505 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/30 502 R