特許

J-GLOBAL ID：200903071805831413

水素センサー

発明者： 廣木 成治 ,  阿部 哲也 ,  土屋 暢彦
出願人/特許権者： 日本原子力研究所 ,  東京システム開発株式会社
代理人 (1件)： 西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-271551
公開番号（公開出願番号）：特開平7-050150
出願日： 1991年10月19日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】 四重極質量分析計のイオン源部、四重極電極部およびイオン検出器部の主要な構造材を全てセラミックス製として一体化し、このセラミックスの表面に直接導電性薄膜を電極として形成し、かつ、四重極電極部のイオン入射口側にコンデンサー2-bを介して導電性薄膜の四重極電極2-cを配設してこの四重極電極を抵抗素子を介して電気的に接地する。【効果】 四重極電極の手作業による組立調整が不要となり分析管の製作工数の大幅な短縮が可能となる。また、耐熱性、耐振動性に優れ、熱膨脹が均一となるので分析管全体を繰り返しベーキングしたり、加熱しながら分析しても四重極電極の組立精度の低下、光軸のずれ等が少ないのでメンテナンスが容易となり、また水素ガス量の測定に際し、バックグランド信号の影響が小さい高感度で、高精度な分析が行えるようになる。

請求項（抜粋）：

四重極質量分析計のイオン源部、四重極電極部およびイオン検出器部の主要な構造材を全てセラミックス製として一体化し、このセラミックスの表面に直接導電性薄膜を電極として形成し、かつ、四重極電極部のイオン入射口側にコンデンサーを介して導電性薄膜の四重極電極を配設してこの四重極電極を抵抗素子を介して電気的に接地してなることを特徴とする水素センサー。

IPC (2件)：

H01J 49/42 ,  G01N 27/62